基板洗净装置及其方法

摘要

本发明提供一种基板洗净装置及其方法。本发明揭示基板洗净装置及其方法，其特征在于，相对于与基板的移动方向成正交的方向而倾斜地配置毛刷来对基板进行洗净处理。利用上述特征，提供可提高基板的洗净效率、提高基板的移动安全性、且抑制洗净液漏出至腔室外部的基板洗净装置及其方法。