沟渠隔离结构及其形成方法

摘要

一种沟渠隔离结构及其形成方法，该结构包含：一基材，具有一漏斗状沟渠，且该漏斗状沟渠之侧壁包含一第一介电层；其中该漏斗状沟渠可区分为：一第一区段，系具有一朝向该基材表面之开口，且系由一介电材料所填充；以及一第二区段，实质上为一锥状，且于与该第一区段之交界处为密封状态。