发明名称 晶舟装置
摘要 一种晶舟装置,包括至少一支撑杆及复数个分隔板。该支撑杆具有一多重弧形抵持部。该等分隔板系连接于该多重弧形抵持部,并且系平行及间隔于彼此。
申请公布号 TW200933799 申请公布日期 2009.08.01
申请号 TW097102157 申请日期 2008.01.21
申请人 采钰科技股份有限公司 发明人 郭养国;邓国星;李晨钟
分类号 H01L21/673(2006.01) 主分类号 H01L21/673(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区笃行一路12号