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经营范围
发明名称
晶舟装置
摘要
一种晶舟装置,包括至少一支撑杆及复数个分隔板。该支撑杆具有一多重弧形抵持部。该等分隔板系连接于该多重弧形抵持部,并且系平行及间隔于彼此。
申请公布号
TW200933799
申请公布日期
2009.08.01
申请号
TW097102157
申请日期
2008.01.21
申请人
采钰科技股份有限公司
发明人
郭养国;邓国星;李晨钟
分类号
H01L21/673(2006.01)
主分类号
H01L21/673(2006.01)
代理机构
代理人
洪澄文;颜锦顺
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区笃行一路12号
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