发明名称 | 一种静电力显微镜及其测量方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种静电显微镜及其测量方法,静电显微镜由扫描头、低频电压信号发生器、高频电压信号发生器、低频振动信号检测器、高频振动信号检测器、控制器组成,所述扫描头包括探针、探针位置感应器、压电激振器、压电扫描器;本发明在已有静电力显微镜基础上,利用探针的较高次本征振动模式来测量静电力。由于不同的振动模式中,探针和样品的相互作用有所不同,其相应的性能也会存在差异,如在分辨率、灵敏度和稳定性等方面。本发明能显著提高大气环境下的静电力显微镜的空间分辨率。 | ||
申请公布号 | CN101493397A | 申请公布日期 | 2009.07.29 |
申请号 | CN200910037448.X | 申请日期 | 2009.02.27 |
申请人 | 中山大学 | 发明人 | 丁喜冬;张进修 |
分类号 | G01N13/10(2006.01)I | 主分类号 | G01N13/10(2006.01)I |
代理机构 | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人 | 禹小明;邱奕才 |
主权项 | 1、一种静电力显微镜,其特征在于由扫描头(1)、低频电压信号发生器(2)、高频电压信号发生器(3)、低频振动信号检测器(4)、高频振动信号检测器(5)、控制器(6)组成,所述扫描头(1)包括导电微悬臂探针(1-1)、探针位置感应器(1-2)、压电激振器(1-3)、压电扫描器(1-5);所述低频电压信号发生器(2)与压电激振器(1-3)连接并提供电压信号激发探针(1-1)振动,所述高频电压信号发生器(3)分别与探针(1-1)和位于压电扫描器(1-5)之上的测量样品(1-4)相连接并向它们提供电压信号,所述探针位置感应器(1-2)分别与低频振动信号检测器(4)和高频振动信号检测器(5)连接,以传送其感应到的探针(1-1)的振动信息,所述低频振动信号检测器(4)和高频振动信号检测器(5)分别与控制器(6)连接,所述控制器(6)与压电扫描器(1-5)连接并通过输出电压信号控制压电扫描器(1-5)的运作。 | ||
地址 | 510275广东省广州市新港西路135号 |