电磁驱动静电预紧硅微机械陀螺

摘要

本发明公开了电磁驱动静电预紧硅微机械陀螺，它包括硅框架，特征是在硅框架内通过体微机械工艺制作硅驱动质量块，在硅驱动质量块内的中间制作敏感质量块，敏感质量块两侧制作振弦，在两根振弦的外侧通过电镀工艺制作上下电容极板对，上下电极导线分别与上下电容极板对相连，在振弦的两端连接有检测导线；在硅框架内制作用于驱动硅驱动质量块振动的驱动梁，在驱动梁上制作驱动导线。本发明的陀螺既具有微机械陀螺固有的小体积、低工耗、低成本等突出优点、又有利于陀螺输出信号的检测、还可以极大地提高陀螺的分辨力、检测精度、测量范围和响应速度、完全能满足战术级应用，甚至能有望满足惯导级应用场合的优点。

主权项

1.一种电磁驱动静电预紧硅微机械陀螺，包括由硅片构成的硅框架(1)，其特征在于：在硅框架(1)上通过体微机械工艺制作出驱动质量块(2)、驱动梁(3)、敏感质量块(4)、上振弦(7)、下振弦(6)和水平检测梁(5)，并通过电镀工艺制作相应的上电容极板对(13)、(14)、下电容极板对(15)、(16)、驱动导线(8)、上电极导线(9)、(10)、下电极导线(11)、(12)、上检测导线(17)、下检测导线(19)和焊盘(18)，其中在在硅框架(1)内通过体微机械工艺制作驱动质量块(2)，在驱动质量块(2)内的中间制作有敏感质量块(4)，敏感质量块(4)通过两端的水平梁(5)支撑在驱动质量块(3)上，在驱动质量块(4)的上方和下方通过电镀工艺分别制作有上电容极板对(13)、(14)和下电容极板对(15)、(16)，带焊盘(18)的上电极导线(9)与上电容极板对(14)相连，带焊盘18)的上电极导线(10)与上电容极板对(13)相连，带焊盘(18)的下电极导线(11)与下电容极板对(15)相连，带焊盘(18)的下电极导线(12)与下电容极板对(16)相连，上振弦(7)、下振弦(6)与敏感质量块(4)相连接，在上振弦(7)的上端连接有上检测导线(17)，在下振弦(6)的下端连接有下检测导线(19)；在硅框架(1)内制作用于驱动硅驱动质量块(2)振动的驱动梁(3)，在驱动梁上制作驱动导线(8)。