| 发明名称 | 光电差分测量系统和测量方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光电差分测量系统，包括波段不同的一个窄带光光源和一个宽带光光源，用于耦合光束的耦合系统，第一成像系统，波长分束器，被测的两个表面，波长合束器，第二成像系统，能量分束器，用于位置粗测的位置敏感传感器，放大系统和用于位置精测的位置敏感传感器。本发明实现了两个平面相对位置的高精度和高稳定性测量。 | ||
| 申请公布号 | CN100520598C | 申请公布日期 | 2009.07.29 |
| 申请号 | CN200610117401.0 | 申请日期 | 2006.10.20 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 关俊;李小平;李志丹;田湍 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王 洁 |
| 主权项 | 1、一种光电差分测量系统，其特征在于按照入射光的传播方向包括：波段不同的一个窄带光光源和一个宽带光光源，用于耦合光束的耦合系统，第一成像系统，波长分束器，被测的两个表面，波长合束器，第二成像系统，能量分束器，用于位置粗测的位置敏感传感器，放大系统和用于位置精测的位置敏感传感器。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||