一种保持盘状物的装置及方法

摘要

本发明涉及一种保持盘状物的装置及方法，该装置中的载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间；载体上表面周边设有与气源连接的吹气口，气体通过吹气口吹向盘状物的下表面的外部，该方法中的通过凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间，该空间用于机械手从盘状物下表面抓取盘状物，通过设置在载体上表面周边的吹气口向盘状物的下表面的外部不断吹气，阻止工艺液体流向盘状物的下表面。本发明结构简单，操作方便，且在盘状物固定后可以从下面抓取盘状物，减少了对盘状物上表面的污染，并有效的保证盘状物下表面不被工艺液体腐蚀。

主权项

1、一种保持盘状物的装置，包括载体，其特征在于，所述载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，所述凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间，所述空间用于机械手从盘状物下表面抓取所述盘状物；所述载体边缘分布有若干个夹持元件，用于径向固定盘状物。