高精度切割晶圆劈裂机

摘要

本发明系一种高精度切割晶圆劈裂机，其主要系于该晶圆劈机之冲击组件上增设一组气压整平组件，藉以在该冲击组件之冲击刀具对晶圆施加劈裂作用力之前，先利用该气压整平组件喷出高压空气作用于晶圆上，使晶圆平坦化，进而在晶圆为冲击刀具劈裂时，晶圆劈裂后切割道产生平齐状断面，确保晶圆劈裂成晶粒之形状完整，且达到高精度切割晶圆之目的。