凹部形成方法、凹凸制品的制造方法、发光元件的制造方法以及光学元件的制造方法

摘要

一种凹部形成方法，其是于可进行热模式的变形的记录材料层上形成多个凹部，此凹部形成方法具备如下步骤：藉由自包含光源而构成的光学系统照射经聚集的光，而在记录材料层上形成凹部的凹部形成步骤；于上述记录材料层上形成凹部的过程中或形成凹部后，对此凹部照射检查光的检查光照射步骤；检测自上述凹部反射或绕射的检查光的光量的检测步骤；以及基于上述光量调整上述光源的输出功率，以使此光量达到预定值的输出功率调整步骤（S1～S4）。另外，提供一种使用此方法的凹凸制品的制造方法、发光元件的制造方法以及光学元件的制造方法。