图形检查装置

摘要

本发明之课题为，使用入射照明影像和穿透照明影像这两种影像之检查可以和使用其中一种影像之检查装置相同的速度来进行，并且，可在不增大设置面积的情况下提供便宜的图形检查装置。本发明之解决手段为，包括配置于成形为带状之带状工件的胶带10(COF胶带等)上面那侧及下面那侧且分别拍摄胶带10之上面那侧及下面那侧的相机5a及5b以及从胶带10之上面那侧照射照明光的照明装置4。用来产生入射照明影像以表示胶带10中之反射状态的入射光照明功能和用来产生穿透照明影像以表示胶带10中之透明度分布的穿透光照明功能可仅藉由一个照明装置4而获得，所以，可同时取得一个被检查图形之相关入射照明影像及穿透照明影像。