| 摘要 |
本发明系提供一种可简便且有效地与检测件之微小间距化之电极相对应之接触式探针之制造方法及接触式探针。于基板11上形成具有适当弹性特性之导线12群。其等之前端部12a系作为接点，较基端部12b之间距更狭窄，以与检测件之端子用电极相对应的微小间距配设成柱状，自基板11之一缘端突出。该导线12系由所需弹性率之金属材料构成，经由密着层13而配设于基板11上。而且，所有导线12之上表面自其等之前端部12a至基端部12b被平坦化。又，各导线12于其上表面及侧面黏附有覆盖层14。此处，覆盖层14系电性连接于导线12。 |
