发明名称 半导体装置测试系统
摘要 本发明揭示一种半导体装置测试系统。该半导体装置测试系统将担当一测试头座之重要功能之驱动器及比较器功能扩展至该测试头座之一外部部分(例如,一HIFIX板),以便其可使测试生产率加倍而不升级该测试头座。该半导体装置测试系统包含:一测试头座,其用于藉助一测试控制器来测试一半导体装置;及一HIFIX板,其用于建立介于该半导体装置与该测试头座之间的一电连接,并包含一受测装置(DUT)测试单元,该受测装置测试单元藉由与该测试头座之一驱动器配成一对来处理自该半导体装置产生之一读取信号并将该经处理之读取信号传输至该测试头座。
申请公布号 TW200931041 申请公布日期 2009.07.16
申请号 TW097146062 申请日期 2008.11.27
申请人 IT&T股份有限公司 发明人 张庆勋;吴世京;李应尚
分类号 G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01);G01R29/26(2006.01) 主分类号 G01R31/26(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 南韩