发明名称 统计过程控制方法和装置
摘要 一种统计过程控制方法和应用该方法的统计过程控制装置,所述方法包括,采集生产过程中待分析的原始数据,将该原始数据分为非连续分布类型数据、具有自相关性类型数据、非正态分布类型数据和正态分布类型数据,对于不同类型的数据,分别确定其控制界,并根据所确定的控制界对生产过程进行监控和/或分析。本发明统计过程控制方法通过对数据的分类,简化了控制图的分类,并解决了对于正态和非正态分布的有限数据点的控制界的计算问题,实现了以往无法实现的对海量参数的复杂系统的监测,节省了数据处理的时间,提高了工作效率。
申请公布号 CN101477358A 申请公布日期 2009.07.08
申请号 CN200810032266.9 申请日期 2008.01.04
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 杨斯元;简维廷
分类号 G05B19/418(2006.01)I 主分类号 G05B19/418(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 李 丽
主权项 1. 一种统计过程控制方法,其特征在于,包括:采集生产过程中待分析的原始数据;将该原始数据分类,分为非连续分布类型数据、具有自相关性类型数据、正态分布类型数据和非正态分布类型数据;对于上述各类数据,分别确定其控制界;按照所述控制界对生产过程进行监控和/或分析。
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