发明名称 |
在复杂形状表面复制高分辨率纳米结构的压印方法及其应用 |
摘要 |
在复杂形状表面复制高分辨率纳米结构的压印方法,纳米结构模板通过压力压入加热熔融的高分子薄膜或紫外光固化材料,固化材料定型后移去模板,然后将纳米结构转移至基片上;压印模板采用柔性纳米压印模板,柔性纳米压印模板采用双层复合结构,该双层复合模板上层为柔性的高分子弹性体衬底,杨氏模量范围在1~15N/mm<sup>2</sup>,厚度可调,在0.1毫米至2毫米之间;下层为刚性的光固化高分子纳米压印图案层,杨氏模量在20N/mm<sup>2</sup>以上,厚度可调,在50纳米至500纳米之间。 |
申请公布号 |
CN101477304A |
申请公布日期 |
2009.07.08 |
申请号 |
CN200810195525.X |
申请日期 |
2008.11.04 |
申请人 |
南京大学 |
发明人 |
葛海雄;陈延峰;李志炜;袁长胜;卢明辉 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京天翼专利代理有限责任公司 |
代理人 |
汤志武;王鹏翔 |
主权项 |
1、在复杂形状表面复制高分辨率纳米结构的压印方法,纳米结构模板通过压力压入加热熔融的高分子薄膜或紫外光固化材料,固化材料定型后移去模板,然后将纳米结构转移至基片上;其特征是压印模板采用柔性纳米压印模板,柔性纳米压印模板采用双层复合结构,该双层复合模板上层为柔性的高分子弹性体衬底,杨氏模量范围在1~15N/mm2,厚度可调,在0.1毫米至2毫米之间;下层为刚性的光固化高分子纳米压印图案层,杨氏模量在20N/mm2以上,厚度可调,在50纳米至500纳米之间。 |
地址 |
210093江苏省南京市汉口路22号 |