发明名称 具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫及制备方法
摘要 具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫及制备方法,涉及超精密研磨与抛光加工技术领域。其特征在于其磨料层(1)组份及质量百分比如下:粒度在1纳米~40微米的磨料1~20%,聚丙烯酸酯类的预聚物20~80%,自由基光引发剂1~3%,聚二甲基硅氧烷或丙烯酸聚合物0~2%,体系交联密度性能调节添加剂0~20%,丙烯酸酯化的活性稀释剂5~40%。其制备过程为:(1)原料充分混合均匀,得到混合物;(2)预备刚性聚合物基体;(3)采用丝网印刷法均匀涂抹;(4)通过紫外光固化机固化。本发明的研磨抛光性能稳定,具有自修正功能,适用于精密加工。
申请公布号 CN100506487C 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CN200710024821.9 申请日期 2007.06.29
申请人 南京航空航天大学 发明人 朱永伟;左敦稳;徐锋;黎向锋;沈建良;邵建兵;郭魂
分类号 B24D3/32(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I 主分类号 B24D3/32(2006.01)I
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 代理人 阙如生
主权项 1、一种具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫,由磨料层(1)、刚性层(2)组成,其特征在于所述的磨料层(1)组份及质量百分比如下:粒度在1纳米~40微米的磨料 1~20%聚丙烯酸酯类的预聚物 20~80%自由基光引发剂 1~3%聚二甲基硅氧烷或丙烯酸聚合物 0~2%体系交联密度性能调节添加剂 0~20%丙烯酸酯化的活性稀释剂 5~40%。
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