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发明名称 Charged particle beam extraction system and method
摘要
申请公布号 EP1733757(A3) 申请公布日期 2009.07.01
申请号 EP20060006323 申请日期 2006.03.27
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 YANAGISAWA, MASAKI;HIRAMOTO, KAZUO;AKIYAMA, HIROSHI
分类号 A61N5/10;G21K1/10 主分类号 A61N5/10
代理机构 代理人
主权项
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