四极质谱计相对灵敏度校准系统

摘要

本发明涉及四极质谱计的相对灵敏度校准，属于校准领域。四极质谱计相对灵敏度校准系统由被校四极质谱计、质谱室、高真空压力测量规、进样系统、高真空抽气系统和计算机组成。其中被校四极质谱计用于测量质谱室内的气体组分含量，质谱室提供四极质谱计所需的高真空环境，高真空压力测量规用于质谱室内压力的精确测量，进样系统确保向质谱室内充入满足要求的已知组分含量气体，高真空抽空系统用于质谱室高真空环境的获得，计算机用于被校四极质谱计测量数据分析和校准因子计算。具有校准不确定度小，能克服四极质谱计定量分析困难等优点。

主权项

1、四极质谱计相对灵敏度校准系统，其特征在于：该系统由被校四极质谱计(5)、质谱室(7)、高真空压力测量规(8)、进样系统、高真空抽气系统、控制台和计算机(4)组成，由进样系统向质谱室内提供已知组份含量的混合气体，被校四极质谱计对质谱室内的进样气体组份含量进行测量，计算机利用已知气体组份含量和被校四极质谱计的气体组份含量测量结果进行分析，得到被校四极质谱计对被校气体的校准因子和校准不确定度。