含有金属成分之类钻碳膜的溅镀方法及用于溅镀含有金属成分之类钻碳膜的复合式靶材

摘要

本发明提供一种含有金属成分之类钻碳膜的溅镀方法，包含以下步骤：(a)于一减压环境内输送一卷带至一金属靶材单元之对应处，以于该卷带上形成一金属膜；及(b)输送该卷带至一复合式靶材单元之对应处，以于该金属膜上形成一含有金属成分之类钻碳膜。另，本发明亦提供一种用于溅镀含有金属成分之类钻碳膜的复合式靶材，包含有石墨及金属成分。金属成分是选自Zr、Ti、Cr、W，或此等之一组合。