| 发明名称 | 大气压等离子反应器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种大气压等离子反应器，包括：第一电极，内设进气空间，而该第一电极具有第一开口，且该第一开口连接该进气空间；第二电极，具有第二开口，且该第二开口与该第一开口相对；以及电源产生单元，耦接至该第一电极以提供该第一电极一交流电源，而该第二电极接地。本发明可在基板上形成高均匀性的薄膜，有效降低交流电源的电压至200～300伏特便可进行等离子制作，借以大幅提高大气压等离子反应器整体的安全性。 | ||
| 申请公布号 | CN101472384A | 申请公布日期 | 2009.07.01 |
| 申请号 | CN200810127131.0 | 申请日期 | 2008.06.19 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 张加强;吴锦清;陈志玮;许文通 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 梁 挥;祁建国 |
| 主权项 | 1、一种大气压等离子反应器，其特征在于，包括：一第一电极，内设一进气空间，而该第一电极具有一第一开口，且该第一开口连接该进气空间；一第二电极，具有一第二开口，且该第二开口与该第一开口相对；以及一电源产生单元，耦接至该第一电极以提供该第一电极一交流电源，而该第二电极接地。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹县 | ||