一种检测无水肼的LB膜气体传感器

摘要

本发明涉及一种检测无水肼的LB膜气体传感器，属于制造领域，包括敏感薄膜、基片、微电极、电源、电流表；通过掩膜方法在玻璃基底上刻蚀出微电极Al电极，利用单分子层转移膜的方法将敏感薄膜覆盖在微电极Al电极上，同时也与玻璃基底有接触，电源、电流表和微电极成串联关系。其中，敏感薄膜采用二硫杂环戊二烯络合物LB膜；基片采用表面的光洁程度玻璃或者石英玻璃；微电极采用厚度250-350nm、50微米的微电极宽度、欧姆接触电阻最小金属Al；电源：输出为0～200V；电流表：灵敏度为10^-10A。本发明的有益效果为：检测的灵敏度要高，对肼浓度的检测限应达到0.05ppm即50ppb。肼气体传感器体积小、重量轻，特别是使用其敏感薄膜选择性强、灵敏度高的特点，补偿了平面叉指微电极传感器输出信号较弱的缺点。

主权项

1、一种用于无水肼探测的二硫杂化环戊二烯络合物LB膜，包括敏感薄膜、基片、微电极、电源、电流表；其特征在于连接关系为：通过掩膜方法在玻璃基底3上刻蚀出微电极Al电极1，利用单分子层转移膜的方法将敏感薄膜2覆盖在微电极Al电极1上，同时也与玻璃基底有接触，电源、电流表和微电极1成串联关系。