发明名称 Schwingungsisolator zur Verwendung im Vakuum
摘要 Die Erfindung betrifft einen Schwingungsisolator zur Verwendung im Vakuum, bei welchem mechanische und elektrische Module innerhalb eines fluiddichten Raums angeordnet sind.
申请公布号 DE102007059631(A1) 申请公布日期 2009.06.25
申请号 DE200710059631 申请日期 2007.12.10
申请人 INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING GMBH 发明人 HEILAND, KLAUS PETER
分类号 F16F15/02;F16F15/023 主分类号 F16F15/02
代理机构 代理人
主权项
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