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经营范围
发明名称
Method and device for treating silicon wafers
摘要
申请公布号
AU2008337880(A1)
申请公布日期
2009.06.25
申请号
AU20080337880
申请日期
2008.12.18
申请人
GEBR. SCHMID GMBH & CO.
发明人
HEINZ KAPPLER
分类号
B05C1/02;B05C1/08;H01L21/00
主分类号
B05C1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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