Mikromechanisches System

摘要

Es wird ein mikromechanisches System 1 beschrieben, das ein Substrat 100, eine erste planare Elektrode 10, eine zweite planare Elektrode 20 und eine dritte planare Elektrode 30 umfasst, wobei die zweite planare Elektrode 20 beabstandet über der ersten Elektrode 10 beweglich angeordnet ist und wobei die dritte planare Elektrode 30 beabstandet über der zweiten planaren Elektrode 20 angeordnet ist.