硅基液晶微型显示装置中的纳米碳管技术

摘要

一种具有纳米碳管(CNT)柱(216)的纳米硅基液晶(纳米LCOS)成像芯片(200)，CNT柱(216)在纳米LCOS成像芯片的玻璃基板(208)上生成。由于高度均匀，所以CNT柱(216)可作为在纳米LCOS成像芯片(200)的玻璃基板(208)与硅晶片(220)之间提供均匀的基片间隙的隔片。而且，由于是良好的电导体，所以CNT柱(216)可构成外部电压源与在玻璃基板(208)上形成的铟锡氧化物(ITO)层(210)之间的电气连接的一部分。纳米LCOS成像芯片(200)包括纳米LCOS准直键(606)，这些纳米LCOS准直键(606)在硅晶片(220)中形成并连接到CNT柱(216)。通过将相同的电压施加到ITO层(210)和这些键(606)，由这些键(606)所激活的液晶的一部分变成用于纳米LCOS成像芯片的光学准直的透明参照标记。

主权项

1、一种纳米硅基液晶成像芯片，包括：第一基板部分；边缘密封，所述边缘密封是一有预定外形的闭环，位于所述第一基板部分上，形成由所述边缘密封和第一基板部分所包围的空间；第二基板部分，与所述第一基板部分平行，并位于所述边缘密封上方以包围所述空间；以及多个纳米碳管柱，所述纳米碳管柱具有预定的高度、在所述第二基板部分上生成并位于所述第一和第二基板部分之间以在第一和第二基板部分之间提供均匀的隔离，其中液晶注在所述空间内。