模子、图案形成方法以及图案形成设备

摘要

一种用于形成图案的图案形成方法，包括：制备模子104，该模子104具有包括图案区域1000的第一表面、与第一表面相对的第二表面以及被设在远离第二表面并靠近第一表面的位置处的对准标记2070；使模子104的图案区域1000与设在衬底5000上的涂覆材料接触；在涂覆材料被设于衬底5000上的对准标记2070和衬底5000彼此相对的部分处的情况下，通过利用对准标记2070和在衬底5000上设置的标记5300，来获得关于模子104和衬底5000的位置信息；以及在所述信息的基础上，实施衬底5000与模子104的高精度对准。

主权项

1. 一种图案形成方法，用于通过利用设置在模子上的图案而在待加工部件上形成图案，该方法包括：通过利用第一位置信息和第二位置信息来实施模子与待加工部件沿模子图案区域的面内方向的对准，所述第一位置信息是关于设置在与模子的形成图案区域的表面位于同一水平面的模子表面上的第一标记和定位成远离所述形成图案区域的表面的第二标记之间的相对位置关系，所述第二位置信息是关于第二标记和设置在待加工部件上的第三标记之间的相对位置关系。