离子源

摘要

离子源14具备：形成有开口30a的放电容器30、设置在放电容器30外且用于在放电容器30内生成等离子体33的线圈32、将在放电容器30内生成的等离子体33中的离子从开口30a引出并产生离子束26的引出电极35、向线圈32供给电力的电力供给装置42、以及能将从电力供给装置42输出的输出功率P的值维持在预先设定且使离子束26的离子束强度的径向分布均匀的值P₀，同时能使输出功率P在规定期间反复停止的控制装置44。

主权项

1. 一种离子源，其特征在于，具备：形成有开口的放电容器、设置在所述放电容器外且用于在所述放电容器内生成等离子体的线圈、将在所述放电容器内生成的所述等离子体中的离子从所述开口引出并产生离子束的引出电极、向所述线圈供给电力的电力供给装置、以及控制装置，所述控制装置能将从所述电力供给装置输出的输出功率的值维持在预先设定且使所述离子束的离子束强度的径向分布均匀的值，同时能使所述输出功率在规定期间反复停止。