MICROCOMMUTATEUR A ACTUATION ELECTROSTATIQUE COMPORTANT DES NANOTUBES POUR LA GESTION DE CHALEUR ET PROCEDE DE REALISATION ASSOCIE

摘要

L'invention concerne un microcommutateur à actuation électrostatique de type condensateur composé de deux armatures dont la première est une membrane flexible et la seconde comporte au moins une électrode de commande, les deux armatures étant séparées par une épaisseur de vide ou de gaz et au moins une couche d'au moins un matériau isolant caractérisé en ce que la première armature comporte des zones recouvertes de film de nanoparticules de carbone présentant une conductivité élevée.L'invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d'un tel microcommutateur comportant un dépôt localisé de nanotubes de carbone sur la membrane.