| 发明名称 |
Electron microscopy system |
| 摘要 |
<p>Es wird eine teilchenoptische Vorrichtung offenbart, welche die Funktionen einen Energieselektors 27 und einer Strahlweiche 21 vereinigt. Die teilchenoptische Vorrichtung wird eingesetzt in einem Elektronenmikroskopiesystem und dient zur Trennung bzw. Überlagerung von Strahlengängen eines Primärelektronenstrahls 11 und eines Sekundärelektronenstrahls 13.
</p> |
| 申请公布号 |
EP1389793(A3) |
申请公布日期 |
2009.06.10 |
| 申请号 |
EP20030017788 |
申请日期 |
2003.08.04 |
| 申请人 |
CARL ZEISS NTS GMBH |
发明人 |
KIENZLE, OLIVER, DR.;KNIPPELMEYER, RAINER, DR.;MUELLER, HEIKO, DR. |
| 分类号 |
H01J37/05;G01Q30/04;H01J37/147;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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