信息获取装置、截面评估装置、以及截面评估方法

摘要

本发明提供一种截面评估装置，其能够在样品温度被调节的状态下分析截面结构。本发明还公开了一种信息获取装置，其包括用于放置样品的平台、用于调节样品的温度的温度调节装置、用于使想要得到信息的样品的表面曝光的曝光装置、以及用于获取与由曝光装置曝光的表面有关的信息的信息获取装置。

主权项

1. 一种信息获取装置，包括：平台，用于放置样品；温度调节装置，用于调节所述样品的温度；曝光装置，用于把想要得到表面信息的所述样品的表面曝光；以及信息获取单元，用于获取与由所述曝光装置曝光的表面有关的信息；其中，温度调节装置保持温度恒定，使得在曝光装置把想要得到表面信息的所述样品的表面曝光的处理期间样品的状态和形态不改变。