发明名称 |
基于氧化锌单晶微纳米碟的回音壁模激光腔的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基于氧化锌单晶微纳米碟的回音壁模激光腔的制备方法,以质量含量大于或等于99.99%锌粉作为反应原材料,以质量浓度大于或等于99.99%的氧气作为反应气体,以硅片或蓝宝石片作为衬底,氮气作为传输气体,使锌粉处于在700-800℃温度下,锌粉被蒸发成锌蒸汽,锌蒸汽被氮气传输到衬底区域,在温度为400-500℃的衬底上沉积并被氧化成氧化锌晶核,最终由这些晶核生长成微/纳米尺寸的六角对称碟状结构,本发明以其制备的微/纳米碟作为增益介质,以其内壁全反射构成回音壁模激光腔而且本发明制备的六重对称的碟状氧化锌微纳米结构是单晶结构,其方法简单。 |
申请公布号 |
CN100494070C |
申请公布日期 |
2009.06.03 |
申请号 |
CN200710020543.X |
申请日期 |
2007.03.12 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
徐春祥;朱光平;李欣;刘金平;郑科 |
分类号 |
C01G9/02(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)N |
主分类号 |
C01G9/02(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 |
代理人 |
陆志斌 |
主权项 |
1. 一种基于氧化锌单晶微纳米碟的回音壁模激光腔的制备方法,其特征在于:以质量含量大于或等于99.99%锌粉作为反应原材料,以质量浓度大于或等于99.99%的氧气作为反应气体,以硅片或蓝宝石片作为衬底,氮气作为传输气体,使锌粉处于在700-8000C温度下,锌粉被蒸发成锌蒸汽,锌蒸汽被氮气传输到衬底区域,在温度为400-5000C的衬底上沉积并被氧化成氧化锌晶核,最终由这些晶核生长成微/纳米尺寸的六角对称碟状结构。 |
地址 |
210096江苏省南京市四牌楼2号 |