发明名称 CMOS图像传感器及其制造方法
摘要 本发明提供了一种CMOS图像传感器及其制造方法,其中,防止了光电二极管的N型区与器件绝缘膜邻接,并减小了暗电流。CMOS图像传感器包括:层间介电膜,形成于栅极多晶硅和电源线之间;接触件,形成于层间介电膜中;以及外延层,与接触件连接并仅形成于蓝色光电二极管区域中。
申请公布号 CN100495714C 申请公布日期 2009.06.03
申请号 CN200510135146.8 申请日期 2005.12.27
申请人 东部亚南半导体株式会社 发明人 韩昌勋
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 余 刚
主权项 1. 一种CMOS图像传感器,包括:层间介电膜,形成于栅极多晶硅和电源线之间;接触件,形成在所述层间介电膜中;以及外延层,与所述接触件连接,并仅形成于蓝色光电二极管区域中,所述外延层用作所述蓝色光电二极管的感光区域。
地址 韩国首尔