发明名称 |
CMOS图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种CMOS图像传感器及其制造方法,其中,防止了光电二极管的N型区与器件绝缘膜邻接,并减小了暗电流。CMOS图像传感器包括:层间介电膜,形成于栅极多晶硅和电源线之间;接触件,形成于层间介电膜中;以及外延层,与接触件连接并仅形成于蓝色光电二极管区域中。 |
申请公布号 |
CN100495714C |
申请公布日期 |
2009.06.03 |
申请号 |
CN200510135146.8 |
申请日期 |
2005.12.27 |
申请人 |
东部亚南半导体株式会社 |
发明人 |
韩昌勋 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
余 刚 |
主权项 |
1. 一种CMOS图像传感器,包括:层间介电膜,形成于栅极多晶硅和电源线之间;接触件,形成在所述层间介电膜中;以及外延层,与所述接触件连接,并仅形成于蓝色光电二极管区域中,所述外延层用作所述蓝色光电二极管的感光区域。 |
地址 |
韩国首尔 |