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发明名称 METHOD FOR TREATING A PROCESS MATERIAL WITH LARGE SURFACE PLASMA
摘要
申请公布号 EP1891265(B1) 申请公布日期 2009.05.27
申请号 EP20060763617 申请日期 2006.06.09
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HARTMANN, WERNER;FIGALIST, HELMUT
分类号 D21C9/00;D21C9/10;D21H25/04 主分类号 D21C9/00
代理机构 代理人
主权项
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