发明名称 LIFT PIN MECHANISM
摘要
申请公布号 KR20090053839(A) 申请公布日期 2009.05.27
申请号 KR20097006042 申请日期 2009.03.24
申请人 SEMICONDUCTOR & DISPLAY CORPORATION 发明人 CHIKAIKE MASAAKI
分类号 H01L21/683;B65G49/06 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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