| 发明名称 |
Micromechanical sensor, sensor array and method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2442415(B) |
申请公布日期 |
2009.05.27 |
| 申请号 |
GB20080001930 |
申请日期 |
2006.07.04 |
| 申请人 |
VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS |
发明人 |
HEIKKI SEPPAE;KIRSI TAPPURA;TOMI MATTILA;ARI ALASTALO;HANNU HELLE;AARNE OJA;JUSSI TUPPURAINEN |
| 分类号 |
G01N29/02;B81B7/04;G01N29/036;G01N29/22;H01L |
主分类号 |
G01N29/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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