发明名称 METHOD OF FORMING THE TRENCH ISOLATION LAYER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20090052069(A) 申请公布日期 2009.05.25
申请号 KR20070118593 申请日期 2007.11.20
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 CHO, JONG HYE;CHO, WHEE WON;MYUNG, SEONG HWAN;KIM, SUK JOONG
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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