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发明名称 APPARATUS FOR TREATING THE SURFACE OF A SUBSTRATE WITH PLASMA IN ATMOSPHERIC PRESSURE AND METHOD FOR MANUFACTURING A LOWER ELECTRODE ASSEMBLY THEREOF
摘要
申请公布号 KR20090051916(A) 申请公布日期 2009.05.25
申请号 KR20070118375 申请日期 2007.11.20
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 KIM, TAE WAN;YI, CHANG HEON;BANG, JIN HYEOK;HAN, YOUNG HO
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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