| 发明名称 |
INSPECTION APPARATUS, INSPECTION METHOD, AND STORAGE MEDIUM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20090051714(A) |
申请公布日期 |
2009.05.22 |
| 申请号 |
KR20080115143 |
申请日期 |
2008.11.19 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
SHIGA MASAHIRO;FUJIHARA KAORU;SAITO MISAKO;HAYASHI TERUYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N23/225;G03F1/84;G03F1/86;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
