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发明名称 VEREINFACHTES VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER EPITAXIAL GEWACHSENEN STRUKTUR
摘要
申请公布号 DE602006006225(D1) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 DE200660006225T 申请日期 2006.12.04
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FOURNEL, FRANCK;MORICEAU, HUBERT
分类号 H01L21/20;C30B25/18;C30B33/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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