发明名称 FABRICATION METHODS OF SIC SEMICONDUCTOR DEVICES USING HEAT-RESISTANT ELECTRODES
摘要
申请公布号 KR20090050366(A) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 KR20070116755 申请日期 2007.11.15
申请人 KOREA ELECTRO TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 发明人 JOO, SEONG JAE;KIM, SANG CHEOL;BAHNG, WOOK;KANG, IN HO;KIM, NAM KYUN
分类号 H01L29/80 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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