硅片承载框

摘要

本实用新型公开了一种硅片承载框，包括边框和设置在边框内围的加强筋，所述加强筋上设置有至少三个凸起，这些凸起的最高点仅确定一个平面，且这个平面处于边框的高度范围内；所述硅片承载框整体为聚偏氟乙烯材质注塑而成，既保证刚性，又可避免在使用中被强酸、弱碱介质腐蚀，承载框可重复使用；传送中硅片与滚轮及压轮没有直接接触，是靠滚轮与承载框间的摩擦进行传送的，可大大减少硅片的碎片率；硅片与承载框为点的接触方式，可保证硅片能有效地腐蚀、清洗和干燥。

主权项

1、一种硅片承载框，其特征在于：包括边框(1)和设置在边框内围的加强筋(2)，所述加强筋上设置有至少三个凸起(3)，这些凸起的最高点仅确定一个平面，且这个平面处于边框(1)的高度范围内。