发明名称 |
调适多变量错误检测 |
摘要 |
一种用于侦测错误的方法及设备。接收一组数据采样,该组数据采样包含多重处理变量。一或多个变量统计模型经调适,其中调适过程包含施加一改变至该一或多个多变量统计模型的至少一单变量统计,其在如果该改变大于一门槛值时而为之。该一或多个多变量统计模型被用来分析接续处理数据以侦测错误。 |
申请公布号 |
CN101438251A |
申请公布日期 |
2009.05.20 |
申请号 |
CN200780016500.2 |
申请日期 |
2007.05.07 |
申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
J·L·小哈维;A·T·施沃姆 |
分类号 |
G06F11/30(2006.01)I;G06F17/18(2006.01)I |
主分类号 |
G06F11/30(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
陆 嘉 |
主权项 |
1. 一种侦测错误的方法,其包含:接收处理数据,该处理数据包含多个处理变量;根据该处理数据调适一或多个多变量统计模型,其中调适过程包含施加一改变至该一或多个多变量统计模型的至少一单变量统计,其在如果该改变大于一门槛值时而为之;及使用该一或多个经调适的多变量统计模型来分析接续的处理数据以侦测错误。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |