| 摘要 |
1. Устройство для двухсторонней индивидуальной обработки подложек квадратной или прямоугольной формы, содержащее разгрузочную и приемную кассеты для подложек, установленные соответственно на механизмах шагового перемещения их, механизм выгрузки подложек из кассеты, механизм загрузки обработанных подложек в кассету, технологические блоки гидромеханической очистки и мегазвуковой очистки с держателями подложек, первый и второй транспортеры с носителями подложек, отличающееся тем, что устройство дополнительно снабжено вторым блоком гидромеханической очистки подложек и блоком сушки подложек с помощью нагревателя с держателями подложек, а носители транспортеров выполнены в виде штанги с двумя вертикальными выступами, на каждом из которых на соответствующих осях установлен вертикальный ряд роликов с круговыми канавками и заходными фасками и с регулируемым расстоянием между рядами, причем центры осей симметрии роликов лежат на одной вертикальной оси симметрии соответствующего ряда, а штанга снабжена фиксирующим устройством, смещенным относительно оси симметрии расположения вертикальных выступов, при этом выступы штанги с рядами роликов снабжены защитным кожухом, кроме того, держатели подложек всех технологических блоков выполнены также в виде двух вертикальных рядов роликов аналогично рядам роликов на носителях транспортеров. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ротор центрифуги блока мегазвуковой очистки снабжен двумя опорными штифтами и установленным противоположно ему относительно подложки фиксатором, при этом вал ротора снабжен ориентатором, а нагреватель блока сушки выполнен подви� |
