用以使功率输出局部化的分布式功率设备

摘要

提出一种分散式功率装置，用来在基板处理时、在电浆处理系统中提供局部功率输出。该分散式功率装置包括一直流（DC）电源单元组。该分散式功率装置也包括复数功率产生器，用来从该DC电源单元组接收功率。该复数功率产生器其中的每一功率产生器系耦合至一电元件组，因此使得该复数功率产生器其中的该每一功率产生器能够控制该局部功率输出。