| 发明名称 |
ROTATING TEMPERATURE CONTROLLED SUBSTRATE PEDESTAL FOR FILM UNIFORMITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20090048355(A) |
申请公布日期 |
2009.05.13 |
| 申请号 |
KR20080110380 |
申请日期 |
2008.11.07 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
LUBOMIRSKY DMITRY;FLOYD KIRBY H. |
| 分类号 |
H01L21/687;H01L21/00;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/687 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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