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发明名称
SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS, CONTROL METHOD OF SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS ,AND STORAGE MEDIUM
摘要
申请公布号
KR20090043451(A)
申请公布日期
2009.05.06
申请号
KR20080105588
申请日期
2008.10.28
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
TAKENAGA YUICHI;KASAI TAKAHITO;OBATA MINORU;TAKEZAWA YOSHIHIRO;YABE KAZUO
分类号
H01L21/20;H01L21/324
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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