发明名称 SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS, CONTROL METHOD OF SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS ,AND STORAGE MEDIUM
摘要
申请公布号 KR20090043451(A) 申请公布日期 2009.05.06
申请号 KR20080105588 申请日期 2008.10.28
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TAKENAGA YUICHI;KASAI TAKAHITO;OBATA MINORU;TAKEZAWA YOSHIHIRO;YABE KAZUO
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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