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发明名称 APPARATUS AND METHODS FOR DISPENSING FLUIDS WITH ROTATABLE DISPENSE ARMS
摘要
申请公布号 KR100894888(B1) 申请公布日期 2009.04.30
申请号 KR20057011168 申请日期 2005.06.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;B05C5/02;G03F7/30;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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