发明名称
摘要
申请公布号 JP4259217(B2) 申请公布日期 2009.04.30
申请号 JP20030205439 申请日期 2003.08.01
申请人 发明人
分类号 C07F7/12;H01L21/312;C07F7/18;C08G83/00;C23C16/42;H01B3/46;H01L21/316 主分类号 C07F7/12
代理机构 代理人
主权项
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