基于微电子机械系统技术的红外光源及制备方法

摘要

本发明基于微电子机械系统技术的红外光源及制备方法，属于红外技术领域，具体而言是一种基于微电子机械系统技术的红外光源及制备方法。该红外光源芯片包括框架、加热电极、加热电极的压焊块和红外辐射膜；在框架上表面固接支撑膜，支撑膜上表面固接加热电极，电极两侧有电极压焊块；支撑膜和电极的上表面，覆有一层钝化膜；电极压焊块凸露于钝化膜的外表面；在钝化膜的外表面正中部位，固接红外辐射膜。芯片还包括测温电极和红外反射镜。其制备方法是：第一步，制备红外发光部分；第二步，制备红外反射镜；第三步，将两部分键合到一起。本发明功耗低、调制频率高、易阵列化，输出为准平行红外光束。本发明的方法实现低成本、大批量制备。

主权项

1. 一种基于微电子机械系统技术的红外光源，其特征在于：芯片包括框架、加热电极、加热电极的压焊块和红外辐射膜；在框架上表面固接有支撑膜，支撑膜上表面固接有加热电极，电极两侧设有加热电极的压焊块；支撑膜和加热电极的上表面覆有一层钝化膜；加热电极的压焊块凸露于钝化膜的外表面；在钝化膜的外表面正中央部分固接有一片红外辐射膜；红外光源芯片还包括于红外辐射膜四周，在钝化膜的外表面周边缘部固结有一用于聚光的红外反射镜；红外反射镜与钝化膜的外表面键合或粘结到一起。