层叠体及半导体装置

摘要

本发明的层叠体，含有在半导体层上方设置的、具有规定图案的铜配线层(20)，在上述铜配线层(20)上设置的、含有聚苯并噁唑树脂层的保护层，在上述保护层上设置的绝缘层(40)。

主权项

1.一种层叠体，其特征在于，含有：在半导体层上方设置的、具有规定图案的铜配线层，在上述铜配线层上设置的、含有聚苯并噁唑树脂层的保护层，在上述保护层上设置的绝缘层；所述聚苯并噁唑树脂层是由具有下述通式(1)表示的重复单元的树脂而构成的，式(1)中，X表示选自式(2)表示的基团中的至少一种基团，Y表示选自式(3)表示的基团中的至少一种基团；n表示1～10000的整数；在式(2)和式(3)中，X1表示选自式(4)表示的基团中的基团；式(2)、式(3)和式(4)表示的基团的苯环上的氢原子，被交联基团取代或不被交联基团取代，或者被有机基团取代或不被有机基团取代，所述有机基团是选自脂肪族基团和芳香族基团中的至少1种的有机基团，具有交联基团或不具有交联基团，所述交联基团为：马来酸酐缩亚胺基、桥亚甲基四氢化邻苯二甲酸酐缩亚胺基、乙烯基、环戊二烯基、乙炔基、苯乙炔基、萘乙炔基、蒽基乙炔基、喹啉基乙炔基、喹喔啉基乙炔基、烷基乙炔基、炔丙基醚基、亚联苯基或氰酰基；并且，所述聚苯并噁唑树脂层是由具有后述基团作为式(1)表示的重复单元中的Y的树脂而构成的，所述基团是选自将式(3)表示基团的苯环上的氢原子用乙炔基或苯乙炔基取代而得的基团中的至少1种基团。