| 发明名称 |
METHOD FOR ADJUSTING THE FREQUENCY OF A MEMS RESONATOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1743421(B1) |
申请公布日期 |
2009.04.01 |
| 申请号 |
EP20050711332 |
申请日期 |
2005.01.11 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
LUTZ, MARKUS;PARTRIDGE, AARON |
| 分类号 |
H03H3/013;H03H3/007;H03H9/02;H03H9/21;H03H9/24;H03H9/46 |
主分类号 |
H03H3/013 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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